主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，尖端放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的高能电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、高能量的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。活性自由基可以有效地破坏各种病毒、细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将有机废气分子异味气体分解或还原为低分子无害物质；另外，借助等离子体中的离子与物体的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微有机废气颗粒物进行有效的吸附沉降处理。
等离子光氧一体机主要适用范围
牛皮纸浆、炼油、炼焦、石化、煤气、粪便处理、制药、农药、合成树酯、合成纤维、橡胶、氮肥、硝酸、炼焦、粪便处理、肉类加工、水产加工、食品配料、香精、畜产加工、皮革、骨胶、油漆、溶剂、油墨印刷、垃圾处理、医药等行业。这些行业等离子光氧一体机都可以去除掉，那么单纯的光氧催化设备，低温等离子设备如果处理这些工况的异味能否达标呢？这些问题也要针对现场工况决定。总体来说，如果有深度较小的异味、烟尘。低温等离子设备就可以处理掉，如果高深度的异味要靠光氧催化设备来处理。如果既有微尘又有高深度的异味只有等离子光氧一体机来处理掉了。
等离子光氧一体机设计思路：
等离子光氧一体机综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行高效协同净化处理：有机废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同高效地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。
等离子光氧一体机性能特点：
1、适应性强：可适应高浓度，大气量，不同恶臭气体物质的脱臭净化处理，可每天24小时连续工作，运行稳定可靠。
2、运行成本低：本设备无任何机械动作，无噪音，无需专人管理和日常维护，只需作定期检查，本设备能耗低，（每处理1000立方米/小时，仅耗电约0.1度电能），设备风阻极低30pa，可节约大量排风动力的能耗。
3、无需预处理：恶臭气体无需进行特殊的预处理，如加温、加湿等，设备工作环境温度在摄氏-30-65之间，湿度在40％-95％之间均可正常工作。
4、高效除恶臭：能高效去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，脱臭效率可达99.9％以上，脱臭效果大大超过国家1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB14554-93）。
5、无需添加任何物质：只需要设置相应的排风管道和排风动力，使恶臭气体通本设备进行脱臭分解净化，无需添加任何物质参与化学反应。