臭氧杀菌力强，可直接对食品使用，不产生残余污染的优异性能，在食品行业臭氧发生器作为食品企业杀菌器得到广泛应用。
臭氧在蔬菜水果贮藏中除了杀灭或抑制霉菌生长防止腐烂作用之外，还具有防止老化、保鲜的作用。其机理是臭氧可以氧化分解果蔬生理代谢作用呼吸出的催熟剂——乙烯气体C2H4。其反应过程如下：H2C-CH2＋O3→C2H4O+O2→CO2+H2O，乙烯中间产物C2H4O也具有对霉菌等微生物的抑制作用。
臭氧会自行分解为氧气，不产生残余污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果。
臭氧可直接对食品使用进行杀菌或防霉保鲜，为干法消毒，简单易行。臭氧杀菌浓度对食品是极微弱的氧化浓度，对食品无害，因此有越来越多的食品企业采购臭氧发生器来作为自身食品企业杀菌器使用。
