臭氧设备在产生臭氧的过程中，会产生热量，使机器内部的温度升高。而较高的温度会分解臭氧，促使臭氧还原成氧气，降低臭氧的发生量。所以，在生成臭氧的过程中，必须对臭氧设备进行冷却工作，才能稳定并提高臭氧的发生量。
臭氧设备的冷却方式包括风冷、水冷两种。工业臭氧设备多为中大型臭氧设备，常用水冷方式进行冷却。在设计和使用臭氧设备的过程中，必须遵循相关规则，才能获得高产量的臭氧，才能保障设备的正常运行。
主要包括以下几个方面：
1、臭氧设备内的气体中不可含烃类、腐蚀性气体和任何其他能在氧／臭氧／电晕环境内发生反应的物质，这些物质会对臭氧设备产生损害，且可能引发爆炸等安全事故。
2、在设计水冷式臭氧设备时，要防止大量水进入发生器内部。如果水封供气压缩机用的浮阀或空气干燥器上的凝结水阀阻塞卡住，那么水就会进入臭氧设备的电晕室内，继而导致电晕集中、高电流密度和局部电介体发热，导致介电体过早失效。
3、合理控制供气压力的变化。气压会影响电晕功率诱导和跨越介电体所加电压，大范围压力变化将导致设备运行不可靠。如果超出电晕功率范围，会导致熔断器或自动断电器断开。如果超出外加电压峰值，还将造成介电体过早失效。
